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真空通常由抽氣機(jī)獲得，其氣體稀薄度用真空計(jì)測(cè)量。利用分子和擴(kuò)散式氣體抽提器可以獲得大氣壓為1×10-14pa的高真空度。真空技術(shù)廣泛應(yīng)用于芯片制造、太陽(yáng)能電池制造、光學(xué)薄膜制造、電真空儀器、電子管等電子儀器中。
Pfeiffer普發(fā) HiPace 1500U渦輪分子泵維修，Pfeiffer HiPace 1500U普發(fā)渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/DN250 CF-F，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達(dá)到1100L/s - 1450 L/s，轉(zhuǎn)速為37800rpm，極限壓力1X10-8 mbar，對(duì)應(yīng)的控制器為：Pfeiffer TC1200等。
干式螺旋真空泵是一種較新的阿特拉斯真空泵系列下的設(shè)備，具有可靠性高、壽命長(zhǎng)、動(dòng)平衡性能好、適應(yīng)性強(qiáng)、多相混輸?shù)忍攸c(diǎn)。它能去除腐蝕性、有毒、含塵氣體和可冷凝蒸汽等氣體。干泵有著廣泛的應(yīng)用，包括半導(dǎo)體工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜工業(yè)等，這三個(gè)行業(yè)的需求是推動(dòng)干式泵市場(chǎng)的主要?jiǎng)恿ΑＴ跉W美半導(dǎo)體行業(yè)，約有一半的企業(yè)采用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵。我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)主要采用進(jìn)口干式泵。因此，應(yīng)加強(qiáng)國(guó)產(chǎn)干式真空泵的研發(fā)，使之成為我國(guó)真空行業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。
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要了解真空泵卡死的原因，我們首先要了解真空泵的結(jié)構(gòu)，是有真空泵泵體（缸體，轉(zhuǎn)子），油箱，油管，聯(lián)軸器，電機(jī)（馬達(dá)）等部分組成，真空泵是屬于旋片式真空泵，有油式真空泵，無(wú)油真空泵兩種，油式真空泵是用真空泵油來(lái)潤(rùn)滑的，真空泵油在旋片式真空泵里面不僅起潤(rùn)滑作用，還起到密封作用，真空泵的壓力和流量都是要靠真空泵油的正常運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)保證的。真空泵油在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)真空泵油管把油箱里面的真空泵油帶到泵體，在泵體里面運(yùn)轉(zhuǎn)后再通過(guò)回油管回流到油箱里面，因?yàn)檎婵毡眠\(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)溫度會(huì)達(dá)到70-105度，部分真空泵油會(huì)變成油氣，隨著尾氣排到排氣口，通過(guò)沒(méi)有失效的油霧分離器（排氣過(guò)濾器）過(guò)來(lái)下來(lái)，又回流到真空泵油箱里。要保證真空泵不因缺油而卡死，我們就要保證真空泵油油量要足，管道通暢，真空泵油不乳化，不產(chǎn)生淤泥能夠在真空泵里面流動(dòng)。
Pfeiffer TPH240普發(fā)分子泵維修-Pfeiffer TPH240普發(fā)二手分子泵-德國(guó)普發(fā)渦輪分子泵維修 Pfeiffer TPH240普發(fā)渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN 100 ISO-K，出氣法蘭口DN25 ISO-KF，抽速可達(dá)到230 L/s，轉(zhuǎn)速為60000rpm，對(duì)應(yīng)的控制器為：Pfeiffer TCP380，Pfeiffer TCP310等.
在進(jìn)行進(jìn)口真空泵維修的時(shí)候，還有一個(gè)方面的因素是我們必須要注意的，那就是一定不能讓自己的設(shè)備帶著故障工作，因?yàn)檫@種不僅僅是會(huì)影響工作的效果，而且會(huì)有可能造成更加嚴(yán)重的后果。
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廣州潽拓光電科技有限公司——二手普發(fā)分子泵渦輪分子泵機(jī)組
德國(guó)普發(fā)Pfeiffer HiPace 1200C渦輪分子泵維修- 普發(fā)HiPace 1200渦輪分子泵保養(yǎng)，Pfeiffer HiPace 1200渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN200 ISO-K，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達(dá)到1250 L/s，轉(zhuǎn)速為37800rpm，對(duì)應(yīng)的控制器為：Pfeiffer TC1200等。
葉片的視角大，則排氣管速率大，發(fā)動(dòng)機(jī)壓縮比小。葉片的視角小，則排氣管速率小，發(fā)動(dòng)機(jī)壓縮比大。分子泵的排氣管速率大部分不會(huì)受到汽體類(lèi)型的危害，泵的限氣體壓強(qiáng)達(dá)到10-8Pa，可是對(duì)輕分子結(jié)構(gòu)/分子，排氣管速率會(huì)有一定的減少
分子泵的清理十分關(guān)鍵，假如前面泵沒(méi)有問(wèn)題，而真空泵在要求的時(shí)間內(nèi)沒(méi)有做到要求的真空值，在清除漏汽的狀況下，表明分子泵內(nèi)部臟化了，就必須開(kāi)展清理。分子泵的清理分成立即開(kāi)展清理和拆裝清理，前面一種適用內(nèi)部不太臟，后面一種用以?xún)?nèi)部比較嚴(yán)重臟化。
常常選用立即清理，其方式 以下:
(1)關(guān)閉分子泵，開(kāi)展排氣管。
(2)從機(jī)器設(shè)備上當(dāng)心卸掉分子泵，留意不必遇到插口的邊沿一部分，以防危害密閉性。
(3)卸掉冷卻塔、潤(rùn)滑脂包等。
(4)將分子泵的高真空泵插口朝下，豎直地方人一個(gè)盛滿(mǎn)沒(méi)有水酒精的器皿中，液位高寬比略低前面真空泵插口。
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