廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 維修進口真空泵
當停泵后，碳氧化合物返流很快通過泵進入直空室內(nèi)，如果系統(tǒng)仍保持在直空狀態(tài)下，碳氣化合物將會粘在清潔的葉片和直空室的表面上，在隨后再運轉(zhuǎn)該系統(tǒng)時，將極難抽除粘著的碳氧化合物，另一方面，在渦輪分子泵停止運轉(zhuǎn)時，如果給泵充入干燥氙氣或干燥空氣，剛該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護層，而且在系統(tǒng)充氣后，返流的碳氧化合物由于與充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱，在混合氣體中碳氧化合物所占比例*小，在下一次抽空時也很快就能被抽走。
一般導致真空泵無法正常啟動的原因
1、驅(qū)動電機電壓不正確或過載。維修進口真空泵
解決辦法：提供電機正確的電壓。
2、電機啟動器過載保護太小或設(shè)定值太低。
解決辦法：將電機啟動器過載保護的設(shè)定數(shù)據(jù)與電機銘牌的數(shù)據(jù)相對照，必要時，請校正。如果環(huán)境溫度較高：可將設(shè)定值根據(jù)正常電機電流提高5%。
3、保險絲熔斷。
解決辦法：檢查保險絲。維修進口真空泵
在何處充氣
在渦輪分子泵的前級側(cè)充氣，能強制使碳氧化合物立刻通過渦輪分子泵流入真空室。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側(cè)充氣，能達到以清潔氣體蕩蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵(自上而下)，能暫時阻止、延遲碳氫化合物的返流，也有些渦輪分子泵在壓縮級之間進行中間充氣，它和在吸入側(cè)充氣控制碳氣化合物返流幾乎同樣有效。在超高真空系統(tǒng)中，在壓縮級充氣尤其*越。因為中間充氣不需要價格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。維修進口真空泵
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 阿爾卡特真空泵維護
羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時在中真空范圍也有超*的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。阿爾卡特真空泵維護
分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經(jīng)過時間壓力降低一個數(shù)量級的規(guī)律，因此機組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。阿爾卡特真空泵維護
對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當加強前級泵的預(yù)抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實的。這就使規(guī)?；瘧?yīng)用的真空機組得到大大的簡化。阿爾卡特真空泵維護
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 磁懸浮渦輪分子泵維修
含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導體制造設(shè)備，在集成電路刻蝕等工藝過程中，部分工藝氣體容易冷卻凝結(jié)，附著在分子泵轉(zhuǎn)子及內(nèi)壁，造成分子泵轉(zhuǎn)子不平衡量增大或抽氣通道阻塞，影響分子泵的穩(wěn)定運行。加上加熱模塊可以適當提高泵體溫度，降低工藝氣體凝結(jié)，提高分子泵穩(wěn)定性及壽命。 磁懸浮渦輪分子泵維修
我們所稱呼的“質(zhì)譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導入質(zhì)譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產(chǎn) 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊，它會從電子層脫出。結(jié) 果，帶正電的氣體粒子—離子—留了下來。大部分導入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修
分子泵的工作區(qū)間是有限制的，*大啟動壓強也要在100pa，直接大氣啟動只會長期處于過載狀態(tài)運行，并無抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修
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