廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 高真空分子泵維修
在某些中真空應用中,需要進入10-1Pa范圍,這對羅茨泵的二級機組往往難于實現(xiàn),而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數(shù)量級而進入10-1Pa,所以中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速,所以亦可以在三級中真空機組中取代兩級羅茨泵。一般地講,長時間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵,分子增壓泵可以完全取代。而長時間工作在中真空*端壓力范圍的羅茨泵相對而言應該較少,因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽速。高真空分子泵維修
一、真空泵正常運轉使用時,每三天對以下內容進行一次點檢:
A、泵油是否在游標范圍以內
B、泵油是否有變黃變黑、混濁現(xiàn)象
C、聲音是否出現(xiàn)異響
D、真空泵運行時是否出現(xiàn)漏油
當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置。高真空分子泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵高真空分子泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 真空泵維修維護
旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當轉子按箭頭方向旋轉時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強降低,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強,因此將氣體吸入。
當空間A與吸氣口隔絕時,即轉至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,*后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時,排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉,達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔,因而提高了極限真空度。真空泵維修維護
真空機組工作原理:
真空機組是以泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點,而且同時保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率等優(yōu)點。真空泵維修維護
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 真空泵維修維護
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 adixen ATH400M分子泵維修
高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強,傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。adixen ATH400M分子泵維修,因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間,因為隨著壓力降低泵的抽速在減小,特別是對于周期性抽氣的真空機組,對達到工作真空度的時間是有要求的,預抽時間越長,進入工作真空度的時間也越長,故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合,可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力,這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力,保證了設備的使用效率。adixen ATH400M分子泵維修
由于負荷大,轉子和殼體溫差不斷zeng高,使間隙不斷增大,這會使首逆流增大,引起羅茨真空泵抽速下降。為了克服這個缺點,羅茨泵在高負荷下工作時,需要采用有效措施,一般是將羅茨真空泵的外殼和轉子同時采用油循環(huán)系統(tǒng)進行冷卻。adixen ATH400M分子泵維修
隨著螺旋升角和牽引槽深度增大,氦質譜檢漏儀的靈敏度均先提高后下降;增大轉子與定子間隙,不利于氦質譜檢漏儀靈敏度的提高;選取螺旋升角為22°、牽引槽深為 2.5 mm、轉子與定子間隙為 0.3 mm時,氦質譜檢漏儀具有較高的靈敏度,同時復合分子泵牽引級性neng可靠且結構安全。adixen ATH400M分子泵維修
廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 adixen ATH400M分子泵維修