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真空環(huán)境的另一個(gè)特點(diǎn)還在于它在較低的溫度下、具有進(jìn)行一定反應(yīng)的能力，例如在同樣溫度下，有些反應(yīng)過(guò)程在大氣中則難以進(jìn)行，但是在低壓下就十分容易。這就是真空化合物分解和有色金屬冶煉的基本原理。

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直聯(lián)旋片真空泵的返油

　　(1)真空泵的止回閥未關(guān)好，停泵后，油位很快下降，可再開(kāi)再停，觀察變化或拆開(kāi)檢查。

　　(2)真空泵的兩泵蓋內(nèi)油封裝配不當(dāng)或磨損，可進(jìn)行調(diào)換。

　　(3)真空泵的泵蓋或泵身平面不平整，可進(jìn)行修整。

　　(4)真空泵的排氣閥片損壞 ，應(yīng)進(jìn)行調(diào)換。

　　注：檢查直聯(lián)旋片真空泵的的極限真空，以壓縮式shui銀真空計(jì)為準(zhǔn)

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單級(jí)雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣，其特點(diǎn)是把旋轉(zhuǎn)水環(huán)當(dāng)做活塞來(lái)改變泵腔的容積，以達(dá)到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉(zhuǎn)子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進(jìn)排氣口、進(jìn)口單向閥、軸端密封等。通常情況下，軸端是密封的，是利用帶水封環(huán)的填料進(jìn)行密封處理的，其中密封水是通過(guò)端板上的孔道導(dǎo)入導(dǎo)水封環(huán)位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P渦輪分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析設(shè)備及氦檢儀中分析儀器如氦質(zhì)譜檢漏儀，及小型分子泵組中。德國(guó)普發(fā)PFEIFFER TMH071 P分子泵進(jìn)氣法蘭口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出氣法蘭口DN16ISO-KF，抽速可達(dá)到60L/s, 轉(zhuǎn)速為90000rpm,極限真空＜1*10E8mBAR; 對(duì)應(yīng)的控制器為PFEIFFER TC600.

當(dāng)今，現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中，越來(lái)越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒(méi)有大量普及和應(yīng)用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級(jí)泵。因此，針對(duì)這種現(xiàn)狀，對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動(dòng)平衡不容易找，如找正不好，會(huì)引起電機(jī)振動(dòng)增加

普發(fā)Pfeiffer TC100二手分子泵驅(qū)動(dòng)器 德國(guó)普發(fā)分子泵電源 Pfeiffer TC100 ，可以驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的分子泵有Pfeiffer TMH071， Pfeiffer TMU071， Pfeiffer TMH262，其輸出為3相 24V 0-1500Hz的PWM 電壓。

在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上，產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。上級(jí)葉片輸送過(guò)來(lái)的氣體分子又會(huì)收到下級(jí)葉片的作用繼續(xù)被壓縮到更下級(jí)。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵

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