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Leybold zui早將陶瓷軸承應(yīng)用于分子泵，其rotor設(shè)計(jì)充分考慮到加工的應(yīng)力，轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片和定子之間只有0.1毫米。制造公差達(dá)到微米級(jí)。在轉(zhuǎn)速高達(dá)每分鐘7.2萬轉(zhuǎn)時(shí)，葉片端部的速度接近超音速。

渦輪分子泵的工作特性主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：壓縮比與前一階段壓力之間的關(guān)系泵選擇機(jī)械泵作為前級(jí)泵。當(dāng)當(dāng)前級(jí)壓力滿足一定要求時(shí)，分子泵穩(wěn)定工作，減壓比保持恒定。當(dāng)當(dāng)前級(jí)壓力升至1Pa時(shí)，子壓縮比開始降低，而當(dāng)當(dāng)前級(jí)壓力升至數(shù)十帕斯卡時(shí)，壓縮比急劇下降，分子泵無法正常工作。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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　　渦旋泵的氣體在由渦旋轉(zhuǎn)子和渦旋定子組成的月牙腔內(nèi)壓縮，渦旋定子固定在機(jī)架的周邊上，在渦旋定子的周邊上開設(shè)有吸氣口，在轉(zhuǎn)子和定子渦旋體中心部位開設(shè)有排氣口。渦旋轉(zhuǎn)子隨著曲軸的回轉(zhuǎn)以偏心量r為半徑繞定子中心做公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。渦旋轉(zhuǎn)子還受防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的約束，不能自轉(zhuǎn)，始終保持著一種固定的姿態(tài)，其中心繞渦旋定子中心作半徑為r的圓周運(yùn)動(dòng)。