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真空環(huán)境的另一個特點還在于它在較低的溫度下、具有進(jìn)行一定反應(yīng)的能力,例如在同樣溫度下,有些反應(yīng)過程在大氣中則難以進(jìn)行,但是在低壓下就十分容易。這就是真空化合物分解和有色金屬冶煉的基本原理。
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直聯(lián)旋片真空泵的返油
(1)真空泵的止回閥未關(guān)好,停泵后,油位很快下降,可再開再停,觀察變化或拆開檢查。
(2)真空泵的兩泵蓋內(nèi)油封裝配不當(dāng)或磨損,可進(jìn)行調(diào)換。
(3)真空泵的泵蓋或泵身平面不平整,可進(jìn)行修整。
(4)真空泵的排氣閥片損壞 ,應(yīng)進(jìn)行調(diào)換。
注:檢查直聯(lián)旋片真空泵的的極限真空,以壓縮式shui銀真空計為準(zhǔn)
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預(yù)防真空泵因缺真空泵油而卡死
1、定期更換真空泵油,根據(jù)行業(yè)不同,真空泵油的質(zhì)量不同,而制定不同的更換周期,一般來說700---3000小時更換一次,同時還要更換 真空泵油過濾器,注意,每次更換真空泵油要CHE底把真空泵油更換掉,不要只是添加。
2、定期清洗真空泵油管。
3、定期更換真空泵油霧分離器,俗稱的排氣過濾器,防止真空泵油隨著尾氣排出真空泵,造成真空泵油的減少。
渦輪分子泵 HiPace 1500 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認(rèn)證
防護(hù)等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
運行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的Z高運行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
具有Z高 1450 l/s 抽吸能力的高XING能渦輪泵
適用于輕氣體和重氣體的高抽吸能力
高工藝適用性,防止進(jìn)入顆粒
對于重氣體同樣擁有高氣體通過量
準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認(rèn)證
運行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的Z高運行安全性
每一臺的進(jìn)口真空泵都是會有很詳細(xì)的保養(yǎng)維護(hù)說明,一般來說,只要是人們的這種進(jìn)口真空泵出現(xiàn)問題的時候,大家都是要首先通過設(shè)備的保養(yǎng)維護(hù)的要求來對比查找是不是自己在進(jìn)行產(chǎn)品的維護(hù)的時候,做的不好或者是不夠,造成一種簡易的故障,這些故障,一般都是按照使用說明,就可以進(jìn)行很好的處理的,也是非常簡單的一種故障。
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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)HiPace700進(jìn)口分子泵維修廠家維修普發(fā)真空泵
國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。所以,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點。 維修普發(fā)真空泵
潽拓維修/維修/保養(yǎng)/銷售Pfeiffer普發(fā)TMU系列:
TMU064、TMU065、TMU071、TMU200M、TMU260、TMU261、TMU262、 TMU262X、TMU262P、TMU400M、TMU520、TMU521、TMU1000、TMU1001P、TMU1600、TMU1601、TPD011、TPD020、TPD021-0.3、TPD022等
在分子流范圍內(nèi)(即低于 10-3 mbar (0.75 x 10-3 Torr) 的壓力),氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距(通常為十分之幾毫米)。相應(yīng)地,分子主要與密集的轉(zhuǎn)子葉片發(fā)生碰撞,從而產(chǎn)生gao效的抽氣作用。在層流(恒流)范圍內(nèi)(即高于 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 的壓力),分子之間的頻繁碰撞會影響轉(zhuǎn)子的抽氣效率。
因此,渦輪分子泵不能在大氣壓力下工作
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