廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵真空機(jī)組維修
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多級(jí)羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種，在美日等國(guó)家較多的應(yīng)用與半導(dǎo)體及化工行業(yè)。它的“多級(jí)”是相對(duì)于傳統(tǒng)的一個(gè)轉(zhuǎn)子的“單級(jí)”羅茨真空泵而言，形式上多個(gè)轉(zhuǎn)子串聯(lián)，中間由中間壁隔離形成多個(gè)相對(duì)獨(dú)立的泵腔，各級(jí)泵腔通過(guò)各級(jí)的進(jìn)氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級(jí)轉(zhuǎn)子的直徑和形狀是相同的，但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話高壓側(cè)方會(huì)變窄。真空機(jī)組維修
是真空機(jī)組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之，需要耐心觀察和記錄，從中找出故障原因，比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候，關(guān)閉高壓閥，如真空計(jì)指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴(kuò)散泵油被污染了，氧化了等；或是前級(jí)管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。真空機(jī)組維修
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真空泵維修，問(wèn)題2、抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開(kāi)氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30分鐘左右,來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對(duì)極限真空度的影響。varian TV 902分子泵維修
在排除以上兩個(gè)因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要換油；泵內(nèi)油過(guò)濾器堵塞，引起壓縮注油系統(tǒng)油路不暢，供油不足，導(dǎo)致泵體密封不嚴(yán)，這時(shí)需要清洗內(nèi)部油過(guò)濾器；配油器閥門(mén)變形、磨損或損壞也可導(dǎo)致供油不足，這時(shí)應(yīng)檢查更換配油器閥門(mén)；varian TV 902分子泵維修
因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無(wú)爆*性的、對(duì)金屬無(wú)腐蝕性的、與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的也不會(huì)含有顆粒塵埃的氣體。
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真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)荩婵毡庙氂星凹?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。進(jìn)口真空泵維修，歡迎廣大業(yè)界人士來(lái)電來(lái)函，我們將竭誠(chéng)為您提供免費(fèi)的技術(shù)指導(dǎo)與全套滿(mǎn)意的維修服務(wù)支持。
進(jìn)口真空泵維修的方法如下：
1、操作員需要了解設(shè)備、泵和各種部件的外觀。
2、如果打開(kāi)電源后出現(xiàn)異常情況，請(qǐng)立即清潔或關(guān)閉電源以查找原因。
3、冷卻液壓力應(yīng)在0.1至0.2Mpa之間，水溫應(yīng)為≤45℃.
4、在啟動(dòng)每臺(tái)爐之前，請(qǐng)檢查維護(hù)氣缸的氣缸容量，并更換氣缸以避免填充。
5、始終檢查每個(gè)部件的回流量，并確保在操作過(guò)程中每個(gè)部件都有足夠的冷卻液。
間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開(kāi)線和擺線等。漸開(kāi)線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開(kāi)線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭?jí)為6.5×10-2帕，雙級(jí)為1×10-3帕。進(jìn)口真空泵維修
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