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潽拓光電科技---真空泵的領(lǐng)域

1：真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，價格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠，同時還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸..:

潽拓光電科技---真空泵排氣原因：

真空泵油積碳，發(fā)黑，像油泥一樣，所以在排氣口處出現(xiàn)冒油煙。出現(xiàn)這種情況時，要把真空泵油更換掉，將泵從系統(tǒng)上拆下，用干凈的方盤接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。斷續(xù)啟動電機(jī)，使各真空小室內(nèi)的油全部排出。然后從各抽氣管加入干凈的真空泵油 200~300CC 。斷續(xù)啟動電動機(jī)，再次清洗各真空室。這樣經(jīng) 2~3 次重復(fù)清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。從注油塞處加入干凈的真空泵油到視窗口的中心位置，旋緊注油塞不使漏氣。

潽拓光電科技---真空泵怎么保養(yǎng)？

更換真空泵油及油過濾器，如果油受污染而發(fā)黑、乳化或變稠應(yīng)及時換油。換油同時，應(yīng)更換油過濾器。并在加入新油之前請清洗泵。

清洗、換油步驟：停泵將熱油放掉；旋上放油塞，運轉(zhuǎn)5-10秒，將油放盡；注入清洗用油（32號普通機(jī)械油）到油窗高度的3/4處；運轉(zhuǎn)真空泵5-10分 鐘；停泵，將油放掉。如放掉的油還是比較渾濁，達(dá)不到要求，重復(fù)3、4步驟，直到放出的油呈透明狀；旋上放油塞運轉(zhuǎn)5-10秒；將油放盡；注入規(guī)定的新油

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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廣州潽拓光--英國愛德華iH1800干式真空泵

概述：愛德華半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英國愛德華iH1800干式真空泵維修

技術(shù)參數(shù)如下：

英國愛德華iH1800干式真空泵功能和優(yōu)勢：優(yōu)化了設(shè)施消耗。無需預(yù)防性維護(hù)。懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。在節(jié)省功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

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廣州潽拓光電——出售ALCATEL ATH 400M磁懸浮渦輪分子泵

       Alcatel ATH400M法國阿爾卡特磁懸浮分子泵，Alcatel ATH400M阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN100 ISO-K，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達(dá)到320 L/s，極限壓力8x10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為39000rpm，阿爾卡特 ATH400MT磁懸浮分子泵保養(yǎng)對應(yīng)的控制器為：Alcatel ACT 600M

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