廣州潽拓光電科技有限公司——OSAKA分子泵
大阪真空渦輪分子泵越來越多地用于現(xiàn)代半導體工業(yè)。 濺射、蝕刻、蒸發(fā)、注入、分子束外延和離子處理等設備都需要在真空環(huán)境中運行。 近十年來，國內(nèi)外渦輪分子泵得到了顯著的改進和發(fā)展。 在渦輪分子泵的應用日益增多的情況下，干式前級泵并沒有得到廣泛的推廣和應用，有時不得不使用油封機械泵作為渦輪分子泵的前級泵。 因此，針對這種情況，渦輪分子泵的合理選擇和正確運行顯得非常重要。
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大阪渦輪（復合）分子泵
用 途■小型實驗設備的排氣■裝載室，搬送式排氣■分析?測量儀器的排氣■吸附?搬送■的排氣■封裝排氣■電子，離子源的排氣■干燥■濺射蒸鍍等PVD設備排氣■小型爐排氣■分子泵等高真空泵的輔助泵
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渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，耐各種射線的照射，日本OSAKA大阪真空泵維護，耐大氣沖擊，無儲氣和解吸作用，無油蒸氣污染或污染，可獲得潔凈的超高真空. 渦輪分子泵廣泛應用于需要高真空度的高能、可控熱核反應堆、重粒子以及真空鍍膜工藝等領域。
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廣州潽拓光電專*代理OSAKA TG700M分子泵，專*從事OSAKA TG700M分子泵維修 OSAKA TG700M渦輪分子泵
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渦輪分子泵的應用特點
抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單
工作范圍:清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空
極限真空:10/ 10torr
缺點:結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高
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