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AGILENT Turbo-V 1K-G分子泵維修,安捷倫Turbo-V 1K-G分子泵保養(yǎng)
特點(diǎn):
Turbo-V 1K-G 不僅是一臺(tái)泵。該裝置是專門為薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計(jì)的分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化,可以在高流速的氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中工作。另外,可通過遠(yuǎn)程機(jī)架控制器或泵機(jī)一體式控制器來驅(qū)動(dòng)泵。所有這些特點(diǎn)使安捷倫 Turbo-V 1K-G 成為了鍍膜工業(yè)的真空解決方案。
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任何真空泵都有不足之處,渦輪分子泵也不例外。那么渦輪分子泵它的缺點(diǎn):(1) 設(shè)備費(fèi)用高;(2) 對(duì)顆粒物或沉積物敏感;(3) 噪音與振動(dòng);(4) 破碎問題;(5) 暴露大氣易引起事故
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Osaka日本大阪真空曾經(jīng)制造出世界上**臺(tái)復(fù)合渦輪分子泵,也制造了當(dāng)時(shí)世界上*大的渦輪分子泵。
分子泵軸承潤(rùn)滑油的性能必須具備以下三個(gè)條件,才能滿足泵的工作要求:
a、高速下具備良好的潤(rùn)滑性能;
b、飽和蒸氣壓低于前級(jí)泵工作液的飽和蒸氣壓;
c、粘度適當(dāng),使之兼有軸承冷卻液的作用。
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