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而我們會(huì)常用到的中高真空羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵)，為了保證真空度與抽氣效率，不會(huì)采用上述的改變。如強(qiáng)行直排大氣，會(huì)造成羅茨真空泵的吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過(guò)載，無(wú)法工作。varian TV401 301分子泵維修，此時(shí)，如果加大羅茨真空泵電機(jī)功率，熱量增加，則會(huì)造成羅茨真空泵轉(zhuǎn)子過(guò)熱無(wú)法散去，而殼體散熱較快，之間形成高溫差，以致于羅茨真空泵轉(zhuǎn)子熱膨脹加速，它們之間以及與泵腔的間隙消失，進(jìn)而卡死。varian TV401 301分子泵維修
真空泵抽氣慢怎么解決？
1、更換密封墊片，更換真空泵油，更換油封。
2、真空泵平時(shí)保養(yǎng)注意事項(xiàng)：一般情況下，真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開(kāi)裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用清洗，并烘干。對(duì)橡膠件類(lèi)清洗后用干布擦干即可。有條件的對(duì)管中同樣進(jìn)行清理，確保管路暢通。
進(jìn)口真空泵維修的方法如下：
1、操作員需要了解設(shè)備、泵和各種部件的外觀。
2、如果打開(kāi)電源后出現(xiàn)異常情況，請(qǐng)立即清潔或關(guān)閉電源以查找原因。
3、冷卻液壓力應(yīng)在0.1至0.2Mpa之間，水溫應(yīng)為≤45℃.
4、在啟動(dòng)每臺(tái)爐之前，請(qǐng)檢查維護(hù)氣缸的氣缸容量，并更換氣缸以避免填充。
5、始終檢查每個(gè)部件的回流量，并確保在操作過(guò)程中每個(gè)部件都有足夠的冷卻液
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金屬部件通常會(huì)表現(xiàn)出被油和油脂污染的痕跡。如果這些不能通過(guò)抽空容器輕松去除，則必須使用適當(dāng)?shù)挠?溶劑（變性酒精在所有情況下都不適合）進(jìn)行清潔。使用工業(yè)中常見(jiàn)的蒸汽浴可以實(shí)現(xiàn)*大的清潔度。實(shí)現(xiàn)極低的壓力范圍（< 10 -7mbar)金屬部件在清潔后必須在高達(dá) 200°C 的溫度下烘烤。分子泵控制器
嚴(yán)重污染的金屬部件首先必須通過(guò)切割或噴砂頂部表面進(jìn)行清潔。分子泵控制器，這些方法有這樣的風(fēng)險(xiǎn)，即被處理的表面積會(huì)通過(guò)粗糙化而增加，并且可能會(huì)形成容易吸附蒸氣分子的活性中心。建議在蒸汽浴中進(jìn)行補(bǔ)充清潔。在某些情況下，表面的電解酸洗可能是有益的。在高真空元件的情況下，必須保證酸洗不會(huì)變成蝕刻，這會(huì)嚴(yán)重增加表面積。在粗真空和中等真空范圍內(nèi)工作時(shí)，無(wú)需拋光已噴砂的表面，分子泵控制器
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分子泵應(yīng)用常見(jiàn)問(wèn)題：
1、分子泵運(yùn)行以前請(qǐng)確定分子泵安裝妥當(dāng)，電纜恰當(dāng)聯(lián)接并確定處在卡緊情況。
2、分子泵在接電源后及一切正常運(yùn)行時(shí)旋轉(zhuǎn)工件是由磁場(chǎng)力支撐點(diǎn)飄浮的，請(qǐng)盡.量不必碰觸泵殼及控制板，非常是電纜，肯定不可以碰觸。
電壓的不穩(wěn)定，特別對(duì)磁浮類(lèi)的分子泵損傷較大。前級(jí)泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過(guò)前級(jí)泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會(huì)啟動(dòng)。如果前級(jí)泵的效率差，分子泵就會(huì)比較吃力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長(zhǎng)，電流高，分子泵溫度升高等。
間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭?jí)為6.5×10-2帕，雙級(jí)為1×10-3帕。真空渦輪分子泵維修
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