廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵進口真空泵維修
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。進口真空泵維修
電子束蒸發(fā)鍍膜需要高真空環(huán)境！
電子束蒸發(fā)法是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發(fā)材料, 使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運, 在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法. 常見于半導體科研工業(yè)領(lǐng)域. 利用加速后的電子能量打擊材料標靶, 使材料標靶蒸發(fā)升騰. *終沉積到目標上.進口真空泵維修
在蒸發(fā)鍍膜設備中, 真空鍍膜室的本底真空度要求較高, 一般真空度越高, 腔室內(nèi)雜質(zhì)氣體的量越少, 鍍膜材料在沉積到基片上的過程中, 與環(huán)境中的雜質(zhì)氣體碰撞變少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更致密均勻的膜, 由于分子泵的無油和高真空特性, 逐漸取代了有油的擴散泵成為*普遍的真空系統(tǒng),進口真空泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵varian T250 PUMP分子泵維修
盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開出數(shù)條型線溝槽，然后將數(shù)塊圓盤串接起來構(gòu)成，型線有阿基米德螺線、對數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時靠高速轉(zhuǎn)動的圓盤對氣體分子進行"拖動"，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復折回的定向流動，從而達到抽氣目的。varian T250 PUMP分子泵維修
筒式牽引級是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設計制造中，可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來達到較理想的抽氣效果。varian T250 PUMP分子泵維修
當軸和軸套配合過緊時，再加滑潤油路不通暢，也會因互相粘碾卡死泵長時間不用，泵腔內(nèi)生銹;泵在濕度較大的環(huán)境下運轉(zhuǎn)或抽除潮濕氣體，使泵油變成乳濁液或泵油結(jié)垢甚至結(jié)殼泵油粘度過大(冬天);轉(zhuǎn)子在啟動瞬間被打裂;有些泵的高、低真空室氣道上有半圓槽，其上壓的橡皮板被壓得太緊，堵死了中間氣道通路等等，均易使泵卡死。這種毛病常常是很危險的，因在卡死瞬間，由于轉(zhuǎn)子使電動機超負荷或轉(zhuǎn)不動，易使電機燒毀。即使不燒電機，如不及早停車修理，則會輾壞泵腔，打壞旋片，扭壞轉(zhuǎn)子，燒壞端面等，其后果總是很不好的。varian T250 PUMP分子泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵真空渦輪分子泵維修
分子泵應用常見問題：
1、分子泵運行以前請確定分子泵安裝妥當，電纜恰當聯(lián)接并確定處在卡緊情況。
2、分子泵在接電源后及一切正常運行時旋轉(zhuǎn)工件是由磁場力支撐點飄浮的，請盡.量不必碰觸泵殼及控制板，非常是電纜，肯定不可以碰觸。
電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。
間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達3450～4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：單級為6.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕。真空渦輪分子泵維修
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