潽拓——安捷倫進(jìn)口分子泵，分子泵
Agilent安捷倫檢漏儀TV70分子泵，Agilent TV70渦輪分子泵維修保養(yǎng)
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廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵
改進(jìn)的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)
TwisTorr 305 Q 系列分子泵擁有的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)：比其他 305 分子泵增加了一級(jí)渦輪葉片，并采用了與其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牽引級(jí)。MacroTorr 牽引級(jí)是專為大氣載而設(shè)計(jì)的，它擁有更寬大的氣體通道，解決了其他牽引級(jí)結(jié)構(gòu)在高負(fù)載長(zhǎng)期運(yùn)行時(shí)發(fā)熱集中的問(wèn)題，可以承受持續(xù)的大氣體流量，并可將前級(jí)耐壓提高至 16 mbar。
廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵
國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。
干式真空泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、電影、儀器、、食品等范圍廣泛的行業(yè)，市場(chǎng)上超過(guò)50%的產(chǎn)品是進(jìn)口品牌，尤其在半導(dǎo)體行業(yè)中，絕大多數(shù)的真空泵均為國(guó)外品牌，國(guó)產(chǎn)真空泵主要應(yīng)用于化工等行業(yè)。
廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵空擋滑行不可取
分子泵工作時(shí)轉(zhuǎn)速很高（數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘），加減速過(guò)程中，不可避免的要經(jīng)過(guò)某些危險(xiǎn)的共振頻率，長(zhǎng)時(shí)間在這些共振頻率運(yùn)轉(zhuǎn)，會(huì)增加軸承負(fù)荷、進(jìn)而增加分子泵故障的風(fēng)險(xiǎn)。在真空下自然停泵（空擋滑行）時(shí)，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)子要經(jīng)過(guò)幾十分鐘甚至數(shù)小時(shí)的時(shí)間才能完全停止，其中在共振頻率運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間也會(huì)比較長(zhǎng)。一般建議分子泵停機(jī)時(shí)，手動(dòng)或者通過(guò)充氣閥（Vent Valve），通過(guò)充氣口充入空氣/氮?dú)?，增加轉(zhuǎn)子阻力使其快速停機(jī)；手動(dòng)充氣時(shí)，要注意控制充氣速度，使停機(jī)時(shí)間和分子泵啟動(dòng)時(shí)間相當(dāng)（根據(jù)泵的大小不同而不同，一般為 3-10 分鐘）。
廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵
渦輪泵以滿轉(zhuǎn)速持續(xù)運(yùn)行。初始的磁場(chǎng)設(shè)置為 1mT ，泵在該磁場(chǎng)下運(yùn)行 12 個(gè)小時(shí)以穩(wěn)定轉(zhuǎn)子溫度；然后關(guān)閉磁場(chǎng)，再運(yùn)行 12 個(gè)小時(shí)以使轉(zhuǎn)子降溫；然后再分別把磁場(chǎng)設(shè)置為 2mT，按照前面的步驟繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試，直至磁場(chǎng)增加到 7mT 。修復(fù)應(yīng)用中使用技術(shù)，MACHINA 可以協(xié)助 OPD 實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部藝術(shù)品的修復(fù)，由于一些尺寸較大或者極其精致的作品可能無(wú)法移動(dòng)，它也可以被輕松移動(dòng)到現(xiàn)場(chǎng)或者其他的實(shí)驗(yàn)室和博物館。
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