廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵
氣載、熱氣體、突變氣載
a 引起問題：溫度升高；動靜片變形；轉(zhuǎn)子上移；潤滑失效5℃原則；軸承失效
b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時(shí)間7磁場屏蔽出現(xiàn)的問題
旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問題：
?、佟⑥D(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；
?、凇⑥D(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；
?、邸⒂捎诎l(fā)熱會減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；
?、?、轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對位置，造成碎泵。
分子泵在磁場中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，徑向和軸向磁場強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。
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為什么要選擇渦旋式無油干泵IDP-3？極低維護(hù)成本IDP-3的采購價(jià)格及維護(hù)包價(jià)格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶體驗(yàn)使用精密的測聲計(jì)，并通過ISO標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測試：在操作人員位置的測試結(jié)果表明，IDP-3的噪聲會小于油封式真空泵2dB
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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷，正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng)，對分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。
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許多設(shè)備在工作時(shí)都會產(chǎn)生磁場，比如，家用電冰箱的磁場強(qiáng)度約有10高斯（1mT），MRI 的磁場強(qiáng)度甚至?xí)哌_(dá) 3T；盡管可以采取屏蔽等措施，仍然可能會有外漏的雜散磁場，對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。
MACHINA中應(yīng)用的真空產(chǎn)品
MACHINA 工作時(shí)需要穩(wěn)定的真空環(huán)境，以避免高速粒子束和殘留氣體分子之間的任何相互作用，該項(xiàng)目設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)選擇了安捷倫的渦輪分子泵作為主泵。安捷倫 TwisTorr 系列渦輪分子泵輕巧緊湊，可以任意角度安裝，而且其采用的 AFS 懸浮軸承技術(shù)可以補(bǔ)償輕微的系統(tǒng)振動；對于一個(gè)緊湊便攜的系統(tǒng)而言，這些特點(diǎn)至關(guān)重要。
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安捷倫提供穩(wěn)定的出色渦輪分子泵系統(tǒng)，在實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)等廣泛應(yīng)用中均能提供值得信賴的真空環(huán)境。我們的渦輪分子泵解決方案配備抽速 70-700 L/s 的 TwisTorr FS 系列渦輪分子泵、3-30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 前級干泵、5-30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能壓力讀數(shù)真空計(jì)。此類解決方案采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)，利用可配置的或一體化的平臺（包括小型 TPS、臺式機(jī)組、DIY 系統(tǒng)和移動式解決方案）滿足您的所有需求。
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安捷倫Varian Turbo-V 551 Navigator渦輪分子高真空泵集成到許多分析儀器應(yīng)用中，包括電子顯微鏡（SEM，TEM），聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）和表面分析現(xiàn)代聚焦光束系統(tǒng)，如SEM，TEM和FIB利用將電子或離子投射到顯微樣品上的色譜柱進(jìn)行詳細(xì)分析。zui終用戶分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片的所有類型的物質(zhì)。特別是在半導(dǎo)體行業(yè)，它們需要更高的靈敏度以獲得更好的樣品分辨率。另一個(gè)關(guān)鍵要求是高樣品通量，以降低這些儀器的擁有成本。
安捷倫真空對電子顯微鏡之類的聚束系統(tǒng)真空應(yīng)用有著非常豐富的經(jīng)驗(yàn)，為了滿足SEM、TEM系統(tǒng)高真空、低電磁噪聲和低振動的要求，開發(fā)了一系列的產(chǎn)品。
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