廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵
分子泵也廣泛應(yīng)用于核物理、電真空和表面科學(xué)等領(lǐng)域，由于半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅速，真空泵的市場(chǎng)拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷倫)，德國(guó)普發(fā)，歐瑞康萊寶， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是國(guó)產(chǎn)儀器廠商，如北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司，成都南光機(jī)器有限公司，中科院沈陽科學(xué)儀器等企業(yè)。但是，無論是在技術(shù)還是在市場(chǎng)發(fā)展上，國(guó)外的儀器產(chǎn)品都遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過國(guó)內(nèi)儀器產(chǎn)品。
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進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝
?、?、泵入口：對(duì)正、對(duì)稱擰緊
?、?、泵出口：防止錯(cuò)位
③、冷卻水：無漏水；入口水壓0.2MPa；水溫20±５℃；水質(zhì)澄清無沉淀
注意：
環(huán)境溫度：風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口壓強(qiáng)：強(qiáng)制風(fēng)冷<0.1Pa;自然風(fēng)冷<0.01Pa
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氣載、熱氣體、突變氣載
a 引起問題：溫度升高；動(dòng)靜片變形；轉(zhuǎn)子上移；潤(rùn)滑失效5℃原則；軸承失效
b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時(shí)間7磁場(chǎng)屏蔽出現(xiàn)的問題
旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場(chǎng)中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問題：
?、佟⑥D(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；
?、凇⑥D(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；
?、?、由于發(fā)熱會(huì)減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；
?、?、轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對(duì)位置，造成碎泵。
分子泵在磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，徑向和軸向磁場(chǎng)強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。
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為什么要選擇渦旋式無油干泵IDP-3？極低維護(hù)成本IDP-3的采購(gòu)價(jià)格及維護(hù)包價(jià)格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶體驗(yàn)使用精密的測(cè)聲計(jì)，并通過ISO標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)試：在操作人員位置的測(cè)試結(jié)果表明，IDP-3的噪聲會(huì)小于油封式真空泵2dB
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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷，正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng)，對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。
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許多設(shè)備在工作時(shí)都會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)，比如，家用電冰箱的磁場(chǎng)強(qiáng)度約有10高斯（1mT），MRI 的磁場(chǎng)強(qiáng)度甚至?xí)哌_(dá) 3T；盡管可以采取屏蔽等措施，仍然可能會(huì)有外漏的雜散磁場(chǎng)，對(duì)工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。
MACHINA中應(yīng)用的真空產(chǎn)品
MACHINA 工作時(shí)需要穩(wěn)定的真空環(huán)境，以避免高速粒子束和殘留氣體分子之間的任何相互作用，該項(xiàng)目設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)選擇了安捷倫的渦輪分子泵作為主泵。安捷倫 TwisTorr 系列渦輪分子泵輕巧緊湊，可以任意角度安裝，而且其采用的 AFS 懸浮軸承技術(shù)可以補(bǔ)償輕微的系統(tǒng)振動(dòng)；對(duì)于一個(gè)緊湊便攜的系統(tǒng)而言，這些特點(diǎn)至關(guān)重要。
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