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潽拓——{精}，分子泵

廣州潽拓，EPX180L 半導(dǎo)體干式真空泵 EPX180L維修保養(yǎng)

主要特性和優(yōu)勢

       占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠程使用。

       受zhuanli保護的獨特泵機構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。

          超清潔機構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度地延長了泵的 使用壽命。

        運轉(zhuǎn)時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實現(xiàn)低噪聲。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

潽拓——愛德華渦輪泵，分子泵

  愛德華BOC Edwards STP-451C磁懸分子泵


英國愛德華磁懸浮分子泵維修，能維修的磁懸浮分子泵型號有：

Edwards STP301--- 

 Edwards STP301CEdwards STP451 ---

Edwards STP451CEdwards STP603 ----

Edwards STP603CEdwards STP1003----

Edwards STP1003C Edwards STPH301---

Edwards STPH301CEdwards STPH451---

Edwards STPH451CEdwards STPH803—

dwards STPH803CEdwards STPH1303---

Edwards STPH1303CEdwards STPH600---

Edwards STPH600CEdwards STPH1000—

Edwards STPA2203CEdwards STPA2503---

-Edwards STPA2503CEdwards STPA3003----

Edwards STPA3503CEdwards STPA2803----

Edwards STPA2803CEdwards STPA3503---

Edwards STPA3503C Edwards STPF2203---

STPF2203CEdwards STPXH2603P---

如果有需要維修Edwards STP-451C磁懸浮分子泵的，請隨時聯(lián)系我們

潽拓——愛德華渦輪泵，分子泵

Edwards next85h cf63 nw16 80w 渦輪增壓泵

概述：

      愛德華Edwards nEXT輪分子泵是一種帶有復(fù)合牽引級和機載式控制器的混合軸承渦輪分子泵，抽速的范圍為 47 ls-1 至 400 ls-1。它們?nèi)渴褂糜来派陷S承，能夠消除轉(zhuǎn)子頂部的碳氫化合物，同時使用油潤滑下軸承，可實現(xiàn)可靠的高速操作。

     廣州潽拓光電有限公司維修愛德華全系列分子泵，Edwards愛德華渦輪分子泵nEXT85、nEXT240、nEXT300、nEXT400型號齊全。