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渦輪分子泵可短時(shí)承受大氣的沖擊，并有啟動快、制動快、比較潔凈的優(yōu)點(diǎn)。這種泵特別適用于在大排氣量下工作,壓力為 10-Pa 以上時(shí)泵的排氣量幾乎是定的，這時(shí)只與前級泵的大小有關(guān);在這個(gè)范圍內(nèi)可忽略抽速的不穩(wěn)定性和潤滑油的返流影響。這些特性恰好是油擴(kuò)散泵所不具備的。這一特點(diǎn)，對于要求先抽到高真空，然后再在以壓力為 0.1~1Pa的真空系統(tǒng)內(nèi)以連續(xù)氣流工作的濺射薄膜沉積來說是十分重要的。阿爾卡特渦輪分子泵維修
在這個(gè)特殊管道中，蒸汽經(jīng)過噴嘴的出口到擴(kuò)壓器入口之間的這個(gè)區(qū)域(混合室)，由于蒸汽流處于高速而出現(xiàn)一個(gè)負(fù)壓區(qū)。此處的負(fù)壓要比工作蒸汽壓強(qiáng)和泵出口處所能承受的大壓強(qiáng)(反壓強(qiáng))低很多。阿爾卡特渦輪分子泵維修
此時(shí)，被抽氣體吸進(jìn)混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進(jìn)行能量交換，把工作蒸汽靜壓能轉(zhuǎn)變來的動能傳給被抽氣體，混合氣流在擴(kuò)壓器擴(kuò)張某而產(chǎn)生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴(kuò)壓器的漸擴(kuò)流動時(shí)是降速增壓的。混合氣流在擴(kuò)壓器出口處，壓力增加，速度下降，而后從壓出口排出。故噴射泵也是一臺氣體壓縮機(jī)。阿爾卡特渦輪分子泵維修
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磁懸浮分子泵是利用無摩擦磁懸浮原理實(shí)現(xiàn)長期安全、ke靠、節(jié)能的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)的穩(wěn)定流量控制的一種新的分子泵技術(shù)。它是一種分子泵，可以輸送液體和氣體;它將電機(jī)、變頻器和線性滑動馬達(dá)等相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)壓力、流量調(diào)節(jié)，建立完整的閉環(huán)控制系統(tǒng)，從而有效控制和穩(wěn)定流量。渦輪分子泵養(yǎng)護(hù)中心
其特點(diǎn)如下：
（1）不用任何潤滑油，可實(shí)現(xiàn)完全無油化。
（2)由于轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機(jī)械接觸，軸承的壽命非常長。
（3）與傳統(tǒng)軸承相比，轉(zhuǎn)子可運(yùn)行到很高的轉(zhuǎn)速。
（4） 振動與噪聲很低。
（5） 泵的安裝姿態(tài)不受限制，可任意角度安裝。
（6）轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形
（7）自平衡技術(shù)振動ji小
相比普通分子泵，它的軸承不需要潤滑，所以可以排除油污染
由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對qing有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。渦輪分子泵養(yǎng)護(hù)中心
真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵維修保養(yǎng) 分子泵升級改造
旋片泵為雙級結(jié)構(gòu)，是由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設(shè)備連接，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)容器內(nèi)的氣體將大量吸入與排出。當(dāng)設(shè)備獲得真空時(shí)，高壓級排氣閥片將封閉，高壓級吸入的氣體將轉(zhuǎn)送到第二級，并經(jīng)第二級吸入與排出，這樣真空設(shè)備可獲得一定的真空。根據(jù)用戶使用情況，可配備真空增壓泵，將該泵做為前級泵，由于增壓泵的抽氣力加強(qiáng)，前級泵連續(xù)抽除，能使設(shè)備獲得更高的真空。分子泵升級改造
真空泵抽不出液體
1.沒有灌注液體。解決方案：重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解決方案：消除雜物
3.吸入管或真空泵內(nèi)沒有排凈氣體。解決方案：檢修吸入管路并排凈氣體
4.吸上高度超過允許范圍。解決方案：按允許吸上高度重新按裝真空泵
5.壓出管路太細(xì)，管路損失太大。解決方案：換適合的壓出管路
6.使用揚(yáng)程超過了設(shè)計(jì)揚(yáng)程。解決方案：重新選真空泵
7.輸送熱的、揮發(fā)性的介質(zhì)。解決方案：降低吸程或采用倒灌按裝。
8.轉(zhuǎn)向反了。解決方案：糾正轉(zhuǎn)向
壓縮比 渦輪分子泵的壓縮比是指前級管道（排氣口處）的壓力與進(jìn)氣口處的壓力之比。由于被抽氣體的分子量不同，泵對各種氣體的壓縮比也不同。 泵對氫的壓縮比很小，一般為1000左右，這樣一來如果前級管道中氫的壓力為110-7Torr（13.33Pa），那么進(jìn)氣口處氫的壓力則小1000倍，即為110-10Torr（13.33nPa）。由于氫是超高真空系統(tǒng)中主要的殘余氣體，所以氫的壓縮比是決定渦輪分子泵的極限壓力的關(guān)鍵因素。分子泵升級改造
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