廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵多少錢 Alcatel ATH1600M分子泵維修
Alcatel ATH1600M法國阿爾卡特磁懸浮分子泵維修,Alcatel ATH1600MT阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF,出氣法蘭口DN40 ISO-KF,抽速可達(dá)到1400 L/s,極限壓力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為15000-39000rpm,阿迪克森ATH1600MT磁懸
真空泵維修中,一般會接到以下幾個故障案例:①會出現(xiàn)真空泵無法啟動;②真空泵達(dá)不到極限真空;③真空泵的抽速太慢;④真空泵工作中的溫度過高;⑤真空泵的噪音過大;⑥真空泵漏油。本文主要來詳細(xì)分析下真空泵無法啟動這一個問題,用過真空泵的用戶應(yīng)該都會知道,使用真空泵的過程中,如果長期未使用或者出現(xiàn)故障時都會導(dǎo)致真空泵無法正常啟動,例如,啟動一下就會突然停下了,甚至都啟動不了。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵機(jī)械選擇:
真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵多少錢 阿爾卡特渦輪分子泵維修
渦輪分子泵可短時承受大氣的沖擊,并有啟動快、制動快、比較潔凈的優(yōu)點。這種泵特別適用于在大排氣量下工作,壓力為 10-Pa 以上時泵的排氣量幾乎是定的,這時只與前級泵的大小有關(guān);在這個范圍內(nèi)可忽略抽速的不穩(wěn)定性和潤滑油的返流影響。這些特性恰好是油擴(kuò)散泵所不具備的。這一特點,對于要求先抽到高真空,然后再在以壓力為 0.1~1Pa的真空系統(tǒng)內(nèi)以連續(xù)氣流工作的濺射薄膜沉積來說是十分重要的。阿爾卡特渦輪分子泵維修
在這個特殊管道中,蒸汽經(jīng)過噴嘴的出口到擴(kuò)壓器入口之間的這個區(qū)域(混合室),由于蒸汽流處于高速而出現(xiàn)一個負(fù)壓區(qū)。此處的負(fù)壓要比工作蒸汽壓強(qiáng)和泵出口處所能承受的大壓強(qiáng)(反壓強(qiáng))低很多。阿爾卡特渦輪分子泵維修
此時,被抽氣體吸進(jìn)混合室,工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進(jìn)行能量交換,把工作蒸汽靜壓能轉(zhuǎn)變來的動能傳給被抽氣體,混合氣流在擴(kuò)壓器擴(kuò)張某而產(chǎn)生正激波,波后的混合氣流速度降為亞音速,混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴(kuò)壓器的漸擴(kuò)流動時是降速增壓的?;旌蠚饬髟跀U(kuò)壓器出口處,壓力增加,速度下降,而后從壓出口排出。故噴射泵也是一臺氣體壓縮機(jī)。阿爾卡特渦輪分子泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵多少錢ALCATEL 5011分子泵維修
一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機(jī)組,這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制,即前級高于某一壓力,泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修 ,而當(dāng)前級泵達(dá)到這一臨界壓力時,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,必然會引起真空機(jī)組不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修
轉(zhuǎn)子的油膜冷卻:這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個輸油管,用均勻滴下的冷卻油帶走轉(zhuǎn)子的熱量。油經(jīng)過濾器器、冷卻器,通過密封良好的油泵,再經(jīng)過辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉(zhuǎn)子上之后,隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而均面在轉(zhuǎn)了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵維修
這不僅將轉(zhuǎn)子的熱量帶走,同時在兩個轉(zhuǎn)子表面上形成油膜,防止氣體的逆流,而且還能將轉(zhuǎn)子表面上依附的微細(xì)塵埃帶走。在泵的出口處設(shè)有油槽,收集廢油,經(jīng)過過濾,冷卻后重新循環(huán)使用。此種方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵維修 ,但由于泵內(nèi)有油,失去了羅茨泵無油蒸汽污染真空系統(tǒng)的特點。再則油具有一定的粘度,對高速旋轉(zhuǎn)的羅茨泵轉(zhuǎn)子增加了不少的摩擦力,當(dāng)然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵維修
所使用的油,要求飽和蒸汽壓應(yīng)盡量代。
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