廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 分子泵養(yǎng)護
半導體器件的生產制造工藝極其復雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學操作，例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進行表面的刻蝕處理等。這些復雜的生產制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進行，而且對真空系統(tǒng)和真空設備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵養(yǎng)護
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。同時也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器，用于真空泵的噪聲治理。分子泵養(yǎng)護
轉子的內部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經轉子內壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉子外，還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運轉時轉子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。 分子泵維修，例如在80Torr壓差下工作時，羅茨真空泵轉子溫度較外殼低78度，同時還發(fā)現(xiàn)泵負荷越重時，則間隙越大，這是因為轉子用油冷卻，溫度比殼體低，負荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會增大。
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 分子泵升級改造
旋片泵為雙級結構，是由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設備連接，在運轉時容器內的氣體將大量吸入與排出。當設備獲得真空時，高壓級排氣閥片將封閉，高壓級吸入的氣體將轉送到第二級，并經第二級吸入與排出，這樣真空設備可獲得一定的真空。根據用戶使用情況，可配備真空增壓泵，將該泵做為前級泵，由于增壓泵的抽氣力加強，前級泵連續(xù)抽除，能使設備獲得更高的真空。分子泵升級改造
真空泵抽不出液體
1.沒有灌注液體。解決方案：重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解決方案：消除雜物
3.吸入管或真空泵內沒有排凈氣體。解決方案：檢修吸入管路并排凈氣體
4.吸上高度超過允許范圍。解決方案：按允許吸上高度重新按裝真空泵
5.壓出管路太細，管路損失太大。解決方案：換適合的壓出管路
6.使用揚程超過了設計揚程。解決方案：重新選真空泵
7.輸送熱的、揮發(fā)性的介質。解決方案：降低吸程或采用倒灌按裝。
8.轉向反了。解決方案：糾正轉向
壓縮比 渦輪分子泵的壓縮比是指前級管道（排氣口處）的壓力與進氣口處的壓力之比。由于被抽氣體的分子量不同，泵對各種氣體的壓縮比也不同。 泵對氫的壓縮比很小，一般為1000左右，這樣一來如果前級管道中氫的壓力為110-7Torr（13.33Pa），那么進氣口處氫的壓力則小1000倍，即為110-10Torr（13.33nPa）。由于氫是超高真空系統(tǒng)中主要的殘余氣體，所以氫的壓縮比是決定渦輪分子泵的極限壓力的關鍵因素。分子泵升級改造
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 進口泵維修
在低溫下，軸承潤滑劑具有很高的粘度（低潤滑作用），可能導致軸承潤滑不良和分子泵啟動電流過大。即使泵看起來啟動正常，也可能會對軸承造成一定的損傷，長期來看，這將影響泵的可靠性。安捷倫分子泵允許的正常工作溫度范圍是 5-35 攝氏度，在環(huán)境溫度低于 5 攝氏度時，需要采取一定的加溫措施。
避免真空泵溫度過高：較為非常容易了解這一點，半導體材料在真空泵的運用中，有害物質比較多，而不論是干試真空泵還是骨架密封機械泵，泵腔內溫度過高，高溫下物品及有害氣體便會非常容易產生風險。 進口泵維修
應小心防止固體物質(金屬碎片、玻璃碎片等)。)不會掉入真空泵并擦傷真空泵的運動部件。當真空泵長時間停機時，應將其存放在干燥清潔的環(huán)境中，并堵住吸入口和排出口，以防灰塵落入。
真空泵選型前，先來弄清楚幾個基礎概念： 真空 現(xiàn)實中是不存在真正的真空的，通常我們把容器內氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的狀態(tài)都稱之為真空狀態(tài)。進口泵維修
容積式真空泵
容積式真空泵適用于低真空的泵速較慢的場合，主要用來創(chuàng)建中等至低真空環(huán)境。容積式真空泵使用氣體壓縮作為原理，通過泵出氣體并將其壓縮進入泵房，從而實現(xiàn)真空抽取。
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