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渦輪分子泵的特點很多，但是隨著我國機械、、電子、化工等領域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴大它的市場占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專研，同時也需要各界的共同努力，對渦輪分子泵特點的進一步研究，相信在未來是個值得突破的課題。
典型的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng) ，抽氣系統(tǒng)設置分開的粗抽管道和前級管道，這種系統(tǒng)和常用的擴散泵抽氣系統(tǒng)類似，其粗抽管道和前級管道的基本配置與擴散泵不同。擴散泵的正常運轉要求前級泵具有足夠大的抽速，以便在很大排氣量時前級壓力能低于臨界前級壓力，在渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)中，要選擇具有足夠容量的前級泵，使很靠近前級管道的葉片在很大排氣量時處于分子流或者正好處于過渡流。
大多數渦輪分子泵的很大穩(wěn)態(tài)進氣口壓力P1在0.5~1Pa之間，而很大前級壓力P2約為30Pa。因為排氣量為一常數，即P1S1=P2S2， （1）式（1）表明，渦輪分子泵抽速和前級泵抽速之S1/S2比應該在30到60的范圍內，對于很大的對氫壓縮比小于500的泵來說，其級配比應該為20：1。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導規(guī)；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。
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渦輪分子泵的工作特性主要表現(xiàn)在以下幾個方面：
（1）抽速與轉速的關系抽速與轉速之間的關系大致為S（4-67）。其中：g是由幾何形狀決定的常數；u是活動刀片的轉速。隨著速度的增加，泵送速度比直線略慢。這可以通過在抽速較高時對進氣管電導率的限制來解釋。根據（4-66），隨著S1的增加，S將偏離直線。
（2）泵送速度與入口壓力之間的關系在分子流的壓力范圍內，分子泵的泵送速度幾乎沒有變化。因為分子電導C與分子流動過程中的壓力無關；根據公式（4-65），S1僅確定葉片形狀，速度和氣體類型，并且與壓力無關。因此，根據公式（4-66），實際抽速與壓力無關。但是，當增加壓力以不滿足分子流動條件（大約2×101Pa）時，由于大多數分子無法直接與葉片碰撞，因此泵速會迅速降低。如圖4-62的右側所示，曲線1、2和3對應于壓縮比與不同前級泵
（3）的速度和相對分子質量之間的關系。壓縮比與速度的平方根和相對分子質量成指數關系（G（4-68在公式中，G是由幾何形狀確定的參數。測量結果與公式基本一致。圖4-63顯示壓縮比，其中：p代表前級泵端口的壓力和力，代表分子，泵的入口壓力，在相同速度下，大的氣體分子具有大的壓縮比，高的極限真空，輕質氣體成分，壓縮比小，極限真空低，即輕質分子主要處于分子泵的極限真空中；除去氫，氦等輕質分子的能力較弱。重量具有較高的壓縮比，這是渦輪分子泵可用于獲得清潔真空的物理基礎
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渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優(yōu)缺點。
為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無油的真空系統(tǒng)。然而，目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統(tǒng)，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統(tǒng)的污染。利用有油系統(tǒng)獲得清潔真空，國內外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經驗。
應用：當今，現(xiàn)代化的半導體行業(yè)中，越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質譜檢漏儀等也經常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十幾年來，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著的改進和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下，有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現(xiàn)狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
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