渦輪分子泵利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣。其結(jié)構(gòu)主要由轉(zhuǎn)子和定子組成，通過連續(xù)開啟增加壓縮效果的多個泵級，可以獲得高達(dá)10^-13的壓縮比。渦輪分子泵油污染問題的維修方法主要包括以下幾種：
1.更換渦輪分子泵：如果渦輪分子泵已經(jīng)使用了很長時間，或者油污染嚴(yán)重，可能需要更換新的渦輪分子泵。這通常是Z直接的解決方案。
2.清洗渦輪分子泵：如果渦輪分子泵仍在保修期內(nèi)，或者維修成本相對較低，可以考慮進(jìn)行清洗。清洗過程包括拆卸泵體，清除內(nèi)部的油污和雜質(zhì)，然后重新組裝并測試。
3.檢查和維護(hù)：為了防止渦輪分子泵再次出現(xiàn)油污染問題，建議定期檢查和維護(hù)渦輪分子泵。這可能包括更換潤滑油、清潔過濾器、檢查密封性等
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