分子泵啟動(dòng)時(shí)進(jìn)氣口氣壓不得高于1×10^-1 Pa。這是因?yàn)樵诟邭鈮涵h(huán)境下,分子泵無法正常工作,可能會(huì)導(dǎo)致設(shè)備損壞或效率低下。
分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵,對(duì)平衡要求高且對(duì)固體異物非常脆弱。通常需要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網(wǎng)以保護(hù)設(shè)備。分子泵的排氣速度基本上不受氣體種類的影響,但其*限壓強(qiáng)可達(dá)10^-8 Pa,對(duì)輕分子/原子的排氣速度會(huì)有所降低。
如果分子泵在高于1×10^-1 Pa的環(huán)境下啟動(dòng),可能會(huì)導(dǎo)致設(shè)備損壞或工作效率低下。這是因?yàn)楦邭鈮涵h(huán)境下,氣體分子間的碰撞頻繁,會(huì)影響分子泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。