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廣州潽拓光電科技有限公司

分子泵啟動壓強的要求是是什么

2024.10.17

  分子泵啟動時進氣口氣壓不得高于1×10^-1 Pa。‌這是因為在高氣壓環(huán)境下,分子泵無法正常工作,可能會導(dǎo)致設(shè)備損壞或效率低下。

  分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機械泵,對平衡要求高且對固體異物非常脆弱。通常需要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網(wǎng)以保護設(shè)備。分子泵的排氣速度基本上不受氣體種類的影響,但其*限壓強可達10^-8 Pa,對輕分子/原子的排氣速度會有所降低。

  如果分子泵在高于1×10^-1 Pa的環(huán)境下啟動,可能會導(dǎo)致設(shè)備損壞或工作效率低下。這是因為高氣壓環(huán)境下,氣體分子間的碰撞頻繁,會影響分子泵的正常運轉(zhuǎn)。