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  渦輪分子泵是高或超高真空泵，主要由轉(zhuǎn)子和定子兩個部分組成。一個旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子盤和一個靜止的定子盤組成了一個泵級，泵級產(chǎn)生一個特定的壓縮比。通過連續(xù)開啟增加壓縮效果的多個泵級，可以獲得高達(dá) 1013的壓縮比。
  渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空
  應(yīng)用領(lǐng)Applications
廣泛應(yīng)用于鍍膜、電子、半導(dǎo)體、太陽能、真空爐、化工、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué)、科研單位。