分子泵是一種利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動量傳輸給氣體分子,從而將氣體壓縮并驅(qū)向排氣口的真空泵。要開啟分子泵,需要滿足以下條件:
1、前級泵的壓力必須達到一定水平:分子泵不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵,并且前級泵的壓力必須達到10Pa才能打開分子泵的高閥。
2、冷卻水必須開啟:在開啟分子泵前,必須打開冷卻水閥,以保持轉(zhuǎn)子的冷卻和潤滑。
3、氣路接口必須正確連接:氣路接口的快接法蘭螺桿應朝上,以防松弛造成漏氣。
分子泵啟動后需要等待數(shù)小時至一整夜的時間,才能開啟質(zhì)譜儀進行操作。 具體時間長短受到泵的型號、壓力、環(huán)境溫度以及泵內(nèi)油的種類和質(zhì)量等因素的影響。 同時,在啟動前需要對分子泵進行前處理,并將真空室抽取至低于10^-2 torr的真空度。