渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵*限真空比擴(kuò)散泵高，可達(dá)10^-8pa。正常工作時(shí)需要一定的前級(jí)真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200Pa之間，可采用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，高真空機(jī)組是由分子泵和機(jī)械泵組成的。由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速高，通常用中頻電機(jī)帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400Hz之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。
操作渦輪分子泵注意事項(xiàng)
1.選擇系統(tǒng)前級(jí)泵的的大小時(shí)，應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流的狀態(tài)下
2.不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)行
3.分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵的轉(zhuǎn)子和定子葉片
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