無油渦旋真空泵的工作原理是通過兩條漸開線螺旋曲線盤構(gòu)成,即一個靜渦旋盤和一個動渦旋盤。動渦旋盤作偏心安裝,靜渦旋盤與動渦旋盤便形成月芽形腔體。隨著動渦旋盤轉(zhuǎn)動,月芽形腔體不斷向里旋轉(zhuǎn)壓縮,Z后從中間排出至出氣口。動渦旋盤連續(xù)運轉(zhuǎn),氣體不斷從進氣口吸入、壓縮,由出氣口排出,形成真空
目前無油渦旋真空泵的應用領域為:
①半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備
②科學儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器
③機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備
④化學工業(yè)
⑤醫(yī)*設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備
⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備