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  分子真空泵（以下簡稱分子泵）因其工作穩(wěn)定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應用領域的主流設備，在科學儀器、工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應用。

   分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同。分子泵是基于動量傳遞原理，在變頻電源驅(qū)動電機的帶動下高速旋轉(zhuǎn)，分子流區(qū)域內(nèi)氣體分子與高速轉(zhuǎn)動的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。

分子泵抽真空的時間取決于許多因素，例如真空室的尺寸、所需的Z終真空度、泵的類型和規(guī)格以及泵的操作方式等。一般來說，分子泵抽真空速度比較快，可以在幾分鐘內(nèi)將真空度降到10^-6Pa以下。