2023.08.03
分子泵的清洗非常重要，如果前級(jí)泵沒(méi)有問(wèn)題，而真空在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)沒(méi)有達(dá)到規(guī)定的真空度，如果排除真空系統(tǒng)漏氣或真空控體虧染嚴(yán)重等原因.在對(duì)泵長(zhǎng)時(shí)間烘烤后仍不能灰復(fù)其真空性能，則斷定泵已被污染，必須對(duì)泵進(jìn)行清洗。
分子泵的清洗分為直接進(jìn)行清洗和拆卸清洗，前者適用于內(nèi)部不太臟，后者用于內(nèi)部嚴(yán)重臟化。其方法如下:
(1)關(guān)掉分子泵，進(jìn)行排氣。
(2)從設(shè)備上小心卸下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分，以免影響密封性。
(3)卸下冷卻器、潤(rùn)滑油包等。
(4)將分子泵的高真空接口朝下，垂直地放人一個(gè)盛有無(wú)水酒精的容器中，液面高度略低于前級(jí)真空接口。
(5)上下活動(dòng)分子泵幾次，便于分子泵的定子和轉(zhuǎn)子的葉片清洗。換掉無(wú)水酒精，加人新的無(wú)水酒精，*少要重復(fù)一次。每次在無(wú)水酒精中浸泡大概5~10min。
(6)取出分子泵，將高真空接口朝上，再緩慢放平，以便排出磁性軸承中的酒精。
(7)用一個(gè)網(wǎng)格放在高真空接口上，然后朝下放置30min以上，排出清洗酒精，注意接口的密封表面不要損傷。
(8)接上前級(jí)真空泵，在關(guān)閉分子泵的情況下，利用前級(jí)泵抽真空，使真空度達(dá)到大概10^-1Pa左右，以便*清除分子泵中殘留的無(wú)水酒精。
(9)因前級(jí)真空泵中有酒精，需更換前級(jí)泵真空油。
(10)接上分子泵開(kāi)始工作，因?yàn)榻?jīng)過(guò)處理后，分子泵中仍有殘留的酒精存在，因此*一次抽真空比較慢，屬于正常情況。
潽拓光電建議分子泵的清洗還是由指定的維修中心zhuan業(yè)人員拆泵和清流。避免操作不當(dāng)損壞設(shè)備！
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