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  渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中
一：結(jié)構(gòu)組成
   渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動系統(tǒng)等組成。
二：優(yōu)缺點(diǎn)
  渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)有：(1)清潔，無油蒸汽返流；(2)使用方便；(3)氣體輸送能力強(qiáng)；(4)適于超高真空應(yīng)用；(5)高壓力下性能良好；6)循環(huán)的時(shí)間短；(7)正常使用時(shí)間長
 渦輪分子泵缺點(diǎn)：(1)設(shè)備費(fèi)用高；(2)對顆粒物或沉積物敏感；(3)噪音與振動；(4)破碎問題；(5)暴露大氣易引起事故